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光谱椭偏仪FE-5000 / 5000S

具体成交价以合同协议为准

2023-04-29
型号
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产品简介
简单介绍: 除了可以进行高精度薄膜分析的椭圆偏振光谱仪之外,我们还通过实现自动可变测量机制来支持所有类型的薄膜。除了常规的旋转光子检测器方法之外,通过为延迟板提供自动连接/分离机制,还提高了测量精度。
详细信息
详情介绍:
特殊长度
  • 可以在紫外可见光(300-800 nm)波长范围内测量椭偏参数。
  • 可以进行纳米级的多层薄膜厚度分析
  • 通过多通道光谱仪可快速测量椭圆偏振光,可测量400通道或更多通道
  • 通过可变反射角测量支持对薄膜的详细分析
  • 通过创建光学常数数据库并添加配方注册功能来提高可操作性。

测量项目
  • 椭偏参数(tanψ,cosΔ)测量
  • 光学常数(n:折射率,k:消光系数)分析
  • 膜厚分析

测量目标
  • 半导体晶片
    栅极氧化物薄膜,氮化物膜
    SiO 2,Si x O y,SiN,SiON,SiN x,Al 2 O 3,SiN x O y,多晶硅,ZnSe,BPSG,TiN的
    光学常数(波长色散)抵抗
  • 化合物半导体
    Al x Ga (1-x)作为多层膜,非晶硅
  • FPD
    取向膜
  • 各种新材料
    DLC(类金刚石),超导薄膜,磁头薄膜
  • 光学薄膜
    TiO 2,SiO 2,减反射膜

  • 在每个波长下的光刻场n,k评估,例如g线(436 nm),h线(405 nm),i线(365 nm)

  • 产品信息
  • 原则
  • 规格
  • 测量例

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