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*通过在测量范围内的光学距离测量
实现高波长分辨率,同时支持广泛的膜厚度。
大冢电子的技术封装在紧凑的机身中。
它
也是工厂生产线的理想选择,因为它可以**的间距测量运动的物体。
约有φ20μm的微小斑点,
可以在各种表面条件下测量样品的厚度。
由于可以从*远200 mm的距离进行测量,因此
可以根据目的和应用构建测量环境。
| 光谱干涉晶圆测厚仪SF-3 |
| 嵌入式膜厚监测仪 |
| 显微光谱仪OPTM series |
| 膜厚计FE-300 |
| 光谱椭偏仪FE-5000 / 5000S |
| マルチチャンネル分光器 MCPD-9800/6800 |