MKS电源-射频功率电源

中频射频功率电源（2MHz）

• NOVA系列，功率为2和5千瓦，自动频率调谐可选。
• Spectrum 系列，功率为5和11千万，自动频率调谐可选。

高频射频功率电源（13.56MHz）

• elite系列风冷电源，功率为300，600和750瓦。
• GHW系列电源，功率为1.25，2.5和5千瓦，自动频率调谐可选。
• Spectrum 系列电源，功率为3千瓦，自动频率调谐可选。
• SurePower系列电源，功率为3.5，5.5，6.5，10.5和13千瓦，自动频率调谐可选。

超高频射频功率电源（40.68-60MHz）

• GEW系列电源，功率为3.5和5千瓦，40.68MHz自动频率调谐可选。
• LVF系列电源，功率为3.5千瓦，60MHz，自动频率调谐可选。