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MKS电源-等离子体电源 用于晶圆工艺
具体成交价以合同协议为准
2026-07-16深圳市
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产品简介
产品有以下型号：R*evolution-AX7690集成远程等离子体源用于精元工艺
详细信息
产品有以下型号：
R*evolution -AX7690 集成远程等离子体源用于精元工艺。
微波等离子体源：
- AX2600 集成等离子体系统
- Smart Power-AX2500系列微波电源
- ASTeX-AX3060 SmartMatch微波匹配器
- ASTeX-AX7619 下游等离子体源
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