皮拉尼压电真空计PPG570

新型INFICON皮拉尼压电组合真空计（PPG570）基于 先进的MEMS（微机电系统）传感器技术，该技术 也 用 于 我 们 的 PPG550“ATM 到 中 等 真 空 计 中 。 PPG570与PPG550的区别在于额外安装的ATM传感器， 该传感器允许在经典的负载锁应用中使用PPG570。例 如，在半导线行业或任何其他真空应用中，相对于大 气环境压力的精确压力测量都很重要。新型INFICON  PPG570可用于直接插入式替换所谓的MKS仪器 MKS901P“Micro皮拉尼™和压电负载锁真空压力传感 器”。PPG570具有相同的连接口/接口分配、模拟量输 出和RS232/485数字通信协议。

优势：

•在2毫巴以上气体类型独立——允许与任何气体混合物安全通风

•在大气中具有高精度和可重复性——用于可靠、快速的大气压力检测

•大气环境压力测量 •最多3个固定继电器 •安装方向多样——在工具设计中提供工程自由度

•可选择模型输出信号，便于系统集成

•数字接口RS232/RS485

•能够直接插入替换MKS901P“Micro皮拉尼™和压电负载锁真空压力传感器”

•合规标准：CE、EN、UL、CSA、RoHS

应用范围

•半导线负载锁应用

•用于分析设备/质谱仪

•物理气相沉积

•炉内热处理