产品名称：

中科院微电子所KW-4A匀胶机

一、KW-4A匀胶机产品介绍：

1、中科院微电子所KW型匀胶机适应于半导体硅片，载玻片，晶片，基片，ITO导电玻璃等工艺，制版的表面涂覆。

2、该产品具有转速稳定和启动迅速等优点，并能保证半导体材料中涂胶厚度的一致性和均匀性。

3、通常配无油真空泵一起使用。经过20多年的发展，目前产品占国内市场的70%以上。 

4、目前的型号有KW-4A型和KW-5型。 

二、KW-4A匀胶机规格参数：

 1、调速范围和匀胶时间　　

      Ⅰ档　调速范围：500-2000转／分　　  Ⅰ档　匀胶时间：2-18秒　　

      Ⅱ档　调速范围：1300-8000转／分　　 Ⅱ档　匀胶时间：3-60秒　

2、适用：Φ5-Φ100mm硅片及其它材料等匀胶（硅片、玻璃、石英、金属、GaAs，GaN，InP 等各种材料）。

3、LED数字显示，转速稳定度：±1％，胶的均匀性：±3％。　

4、电机功率：40W　　

5、真空泵抽气速率≥60升／分　

6、体积小，重量轻，操作简便　

7、仪器尺寸：210×220×160mm 　　

8、标配 3 个基片托盘：直径 8mm，1 英寸，2 英寸，（4英寸可选配。）

9、可选配件无油泵

无油真空泵基本参数：

1) 型号： AP-550v；

2) 抽速：1.5 升/秒；

3) 功率：320W；

4) 噪音：58db；

5) 电压、频率：~ 220V/50Hz；

6) *真空度：﹣700mmHg；

7) 重量：5.8kg；

8) 外形尺寸：240×130×200mm。

三、KW-4A 匀胶机产品主要特点

1) 开关电流调速，稳定性能更好，转速调节以数字显示为准。

2) 转速在 500～8000 转/分范围内非常稳定。

3) 采用双转速。在启动之后，先以低速运转，使胶摊开，然后自动转换到 高速运转。两种转速及相应的时间分别可调，时间分别控制在 1～18 秒 和 3 秒～1 分钟。

4) 具有定时功能。

5) 测速采用光电的办法，产生光电脉冲，由晶体分频测速准确性高。

6) "吸片"采用电磁阀控制气路，一个气泵可同时带几台匀胶机工作，适合 流水线的工艺，提高了效率。

7) 在安装结构上，采取了减振措施，保证了在运转时噪音低。

四、KW-4A型匀胶机使用说明

1) 将塑料管接到匀胶机后面板的抽气嘴上。

2) 电源线插座插入无油泵底座“~220V”插孔里。

3) 电源线插头插入电源线接板的~220V。

4) 此泵有两个气嘴，一个气嘴已接好塑料管，另一端接到匀胶机后面板即

可，另一只气嘴为出气嘴，不要堵住。

5) 电源开关“O”为关闭，“－”为开启。

6) 将开关置于“－”位置，真空泵即可运转。

7) 和匀胶机连用时，当需要吸片时，先开泵电源，真空泵应处于工作状态，

只需要再按匀胶机面板上的吸气键，即可控制通电。

8) 不工作时将泵上的开关断开。