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TTS-2000 SORTER洁净机器人描述:一体化程度高,自动化程度高,安全区保护,SEMI认证S2、F47,网络化控制器,接口可用户定制,拥有新松自主研发的控制器,Aligner,方便在视窗观察的可拆卸单元门,易移动框架,带有隔离的风扇 过滤系统,可拆分的设备结构,从而保证设备洁净、可靠的运行……
简介TTS-2000 SORTER洁净机器人
Introduction
SORTER是一个工厂材料传输设备,是一个与SEMI标准兼容的界面系统,可以手动或者配合AGV或OHT的承载水平传输晶圆。该系统提供单线接口供工厂控制,充裕的传输间距与工厂交互和简单的方式供人工服务。占地面积小,采用无X轴的双臂机械手,通过双轴复合运动实现取放片,*的提高了传片效率的同时而又降低了产品维护成本。内部全新的气体导流结构,保证内部空间洁净度能够满足iso class 1级别,保证晶圆传输过程的洁净度。内部带有多重互锁保护,从软件到硬件,多重保证晶圆传输过程中的安全,人员与设备的安全。
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参数
Parameter
整机设计参照标准 Machine Design reference standard | SEMI S1-701;SEMI S2-1102;SEMI S7-96;SEMI S8-701;SEMI S9-1101;SEMI S10-1296;SEMI S13-298;SEMI E15-698;SEMI S11-1296;SEMI E54-997;SEMI E58-301;SEMI F47-400 |
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软件界面设计参考标准 User Interface Design reference standard | SEMI E30, E84, E87, E90, E40, E94, E99, E118, E116 |
生产量Throughput | >150wfrs/h |
颗粒规格Particle Spec | Class 1 |
Wafer放置精度Placement accuracy X-Y | ±0.1mm |
晶圆尺寸Wafer size | 300mm |
平台尺寸(L×W×H) | 1120mm×662mm×1923mm |
重量Weight | ≤500KG |