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  • 16000
  • ≥1台
神钢电机SINFONIA清洁搬运机SELOP-8

具体成交价以合同协议为准

2023-09-18重庆市
型号
参数
品牌:其他品牌
重庆津泽机电科技有限公司

中级会员3代理商

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产品简介
神钢电机SINFONIA清洁搬运机SELOP-8
清洁搬运机,洁净输送机SELOP-8,N2 EFEM,分拣机,自动板传送设备EFEM
详细信息

神钢电机SINFONIA清洁搬运机SELOP-8

神钢电机SINFONIA清洁搬运机SELOP-8

清洁搬运机,洁净输送机SELOP-8N2 EFEM,分拣机,自动板传送设备EFEM

产品介绍

/电混合操作机构抑制开关门时的振动,大大提高颗粒性能。兼容的高气密性 FOUP

FOUP N 2在承载底座 FOUP 上进行净化

支持:ENTEGRIS A-300Spectra 兼容

4 个净化端口类型兼容)*

供应干净的 N 2

(1) 在吹扫端口前放置一个过滤器,以防止颗粒进入 FOUP

(2) 将喷嘴压接到 FOUP 入口处的索环上

N2气体流量可以用流量计监测

N2气体流量可由MFC控制

标准SELOP-8可通过现场改造升级至N2吹扫规格。

控制喷嘴提升和降低的时间,以避免干扰运动销放置位置。也可以与不支持N2吹扫的 FOUP 混合操作。

喷嘴压接强度调节功能

喷嘴头可以更换

喷嘴高度位置确认(传感器)

带自动切换功能的负载端口SELOP-8

只需更换 300mm FOUP 200mm 开放盒适配器即可使用!

具有自动识别运营商功能

映射兼容

配备晶圆弹出传感器

两种类型的开放式盒式适配器

多项成就

倾斜开放式盒式适配器

低成本模式

平开式盒式适配器

300mm N2 EFEM

控制EFEM 中的Ox/H 2 O 以满足工艺的需求。

实现高效置换大气中的N 2

实现小环境下的高效低氧浓度控制采用N 2气体循环系统,N 2

气体 消耗量为100 LPM或以下,可将氧浓度维持在100 ppm以下较少的。

自动控制微压差

10Pa+/-3.5

可以安装在与传统 EFEM 相同的空间内

(1) 可以用现有的标准 EFEM 替换,其占地面积与传统 EFEM 相同

(2) 可以使用固定臂机器人访问最多 4LP

(3) 与传统 EFEM 一样, 侧面设有维护窗口(侧面位置可配合附加选件使用)

EFEM 内部环境/分析监视器

可使用数字分析仪进行监控

安全操作用空气安全替换

氮气*S2S8 符合CE标准

300毫米EFEM

支持更高水平和效率的半导体技术。

非吸附/吸附晶圆处理(清洁等级 1

*抑制晶圆背面的颗粒粘附

可扩展到 200mm 晶圆和石英晶圆

300mm 选项)

高速、高精度定位(±0.05mm

可配备N2吹扫装载端口(可选)

提供耐腐蚀规格(可选)

分拣机

高度可靠和稳定的晶圆传输支持。

搭载可靠性高、出货记录第一的SELOP系列装载口,可加装

N2吹扫规格装载口(选配)

采用无颗粒气流控制和固定机器人

高通量

节省占地面积

SEMI标准软件(兼容GEM300

种类繁多(2x23x34x4 端口)

自动板传送设备EFEM

 满足大型 LED/功率半导体基板的需求

兼容6/8英寸板

通过自动化基板设置和基板盒与处理室之间的基板运输,节省了劳动力。

在高度洁净的N2气氛中进行处理(通过N2循环)可实现高产量

(减少异物、水分、酶等污染)

可以处理加工后的高温基板,实现高生产率。

带架 FOUP 兼容装载端口

符合半导体制造设备所需的规格,例如无颗粒和重复操作的高耐久性。

具有高可靠性和丰富经验的

300mm装载端口在世界各地的前端工艺线上运行。

无颗粒

(1) 采用颗粒夹带技术

(2) 采用低振动技术

兼容SEMI标准(兼容E184

可安装CID

*可选

与安装的适配器兼容的开放式盒式磁带

*可选

兼容N2吹扫

*可选

兼容各种带框FOUP,例如兼容中国台湾和韩国的SEMI E63

带框晶圆 EFEM

EFEM 解决方案与 3D 集成(使用带框架的半导体制造工艺)兼容。

300mm EFEM具有高可靠性和丰富的业绩记录,

在世界各地的前端工艺线上运行。

符合SEMI标准

兼容各种带框FOUP

无颗粒

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