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大气机械手SRBJ1A-AS3491洁净机器人

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2020-01-30沈阳市
型号
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机器人
产品简介
大气机械手SRBJ1A-AS3491洁净机器人
大气机械手广泛用于硅晶圆以及LED蓝宝石基片搬运。手臂采用*的结构加强了手臂的刚性,并有效抑制振动,轻量化设计满足高速要求。本体的制造工艺改进有效降低成本,提升市场竞争力。材料、加工以及表面处理多方面优选,以实现高洁净度。具有多重安全保护功能。肘部和腕部灵活控制,使得机器人可以采用任意姿势来取放晶元,允许更多的片盒直线排布,更节省空间,适应性更强。
详细信息

简介大气机械手SRBJ1A-AS3491洁净机器人

Introduction

大气机械手广泛用于硅晶圆以及LED蓝宝石基片搬运。手臂采用*的结构加强了手臂的刚性,并有效抑制振动,轻量化设计满足高速要求。本体的制造工艺改进有效降低成本,提升市场竞争力。材料、加工以及表面处理多方面优选,以实现高洁净度。具有多重安全保护功能。肘部和腕部灵活控制,使得机器人可以采用任意姿势来取放晶元,允许更多的片盒直线排布,更节省空间,适应性更强。是半导体行业的优势之选。

大气机械手SRBJ1A-AS3491洁净机器人

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参数

Parameter

 

结构形式Mechanical Structure柱坐标型/SCARA型 Cylindrical Coordinate/SCARA
负载Payload名称name晶圆wafer
直径diameterΦ200mm/Φ300mm
重量weight≤0.5kg
自由度数DOF3
大回转直径Maximum Swing diameter520mm

运动范围

Moving  Range
升降轴 (Z轴)Up/Down( Z)-Axis330mm
回转轴 (T轴) Rotational(T)-Axis330°
伸展轴 (R轴) Extension(Z)-AxisR736mm

大速度

Maximum  Moving Speed
升降轴 (Z轴)Up/Down( Z)-Axis330mm/s
回转轴 (T轴) Rotational(T)-Axis360°
伸展轴 (R轴) Extension(Z)-Axis900mm/s

重复定位精度

Repeatability
升降轴 (Z轴)Up/Down( Z)-Axis±0.1 mm(3σ)
回转轴 (T轴) Rotational(T)-Axis±0.01°(3σ)
伸展轴 (R轴) Extension(Z)-Axis±0.1 mm(3σ)
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