芯明天直驱机构式压电扫描台P77系列压电扫描台为一维Z轴运动平台，压电平台中心为106mm大通光孔，压电陶瓷直驱机构，内置高性能压电陶瓷，可以实现Z 轴20μm的位移行程，无摩擦柔性导向机构具有超高的分辨率，闭环版本定位精度可达纳米级，是光学移相器的选择。

P73.Z500系列压电物镜定位器为大行程压电物镜定位器，Z轴直线运动范围可达550μm，采用柔性铰链设计机构，无摩擦、运动直 线性好且闭环型号定位精度高。分离式螺纹适配器设计，可适配多种型号的显微镜，广泛应用于大范围显微成像、双光子显微镜等领域。