LINXON 是真空仪器的全新*品牌, 由真空行业创新仪器的供应者 INFICON 设计和制造。LINXON myRGA 四极质谱仪以的高性价比提供高性能设备, 通过精选的本地合作伙伴(科锐诗汀)销售, 并可以通过视频教程对常见问题进行解答, 满足普通真空和科研市场的生产、研发、集成和支持的需求。
LINXON myRGA的优势
- 可靠的残余气体分析仪,以非常优惠的价格提供空气泄漏和污染检测所需的性能。
- 使用 myRGA, 无需安装软件。 该仪器由集成的机载网页服务器,通过网页浏览器操作, *独立于您的操作系统。通过 PC, 平板电脑或智能手机访问 myRGA的机载网页,服务器可动态适应您的屏幕尺寸和分辨率. 如您愿意使用 LabVIEW 软件操作 LINXON myRGA, 随机附有 LabVIEW 软件开发套件. 使用提供的 LabVIEW 驱动程序示例来定制软件,满足您的需求。
- 软件可提供中英文双语种,为英文或中文不佳的用户提供多种选择。
- 适用于多种细分行业,例如:真空镀膜行业。
与使用哪种 PVD 类型的过程 (EB-PVD, IB-PVD, 或标准 PVD) 无关, LINXON myRGA 均可提供与任何其他监测方法不同的系统视图。无论是监测工艺室是否漏气, 还是监测气体管线是否被污染,如果您需要找出工艺室未 达到基本真空的原因, 可使用内置的检漏功能有效地查找泄漏所在。
热处理,任何低压热处理应用都可受益于使用 LINXON myRGA。如对某特定气体是否与所用的金属发生相互作用有疑问, myRGA 可监测其质量数, 并显示其存在和相对含量。 myRGA 还可用于实时泄漏监测或在基本压强下的手动检漏。
- 新型通道式电子倍增器,延长使用寿命, 提供比法拉第杯 (FC) 高的灵敏度和高的增益。新传感器设计提供了可现场更换电子倍增器 (EM) (如配备) 的附加好处. 在定期的维护日程内可现场快速更换 EM。
- 用于 myRGA 传感器的现代化离子源设计将两根灯丝集成在阳极, 阴极和反射极的组装件中,双灯丝设计中包含一根可使 RGA 具有大上线时间的备用灯丝。使用 myRGA, 还可获得特定应用的灯丝选择 (钨丝用于含卤素的过程或涂敷氧化钇的铱灯丝用于含氧的过程), 增加灯丝的寿命. 更换 myRGA 中的灯丝套件相当于更换传统 RGA的整个离子源, 节约成本, 从而大大地降低总体拥有成本。
例如:UHV 电子束成长市场,工艺制程监控及污染物的探测, RGA 是*的,其成长过程可持续 9 个月或更长,在真空状态下不能因为灯丝损坏而中断真空,采用LINXON myRGA可以很好地解决这个问题。
- LINXON myRGA的另一个关键特征是能够在与质谱仪并行运行的同时测量总压强. 这个压强测量 可用于灯丝的保护。
- 新型馈入件结构便于连接电子单元控制器。
- TCP/IP 以太网连接,可通过以太网现场固件升级。基于互联网浏览器平台可观察多个屏幕 ,例如在UHV 加速器/对撞机市场,可以很方便地实现监测、检漏、诊断、调谐等功能。
- 高速数据收集为好的统计学的制程控制 (SPC) AEC/APC给出多的统计数据。现代化的电子单元,具有超快数据收集 1 毫秒测量时间,意味着在工艺制程中关键点收集更多的数据点,提高数据分辨率用于真空阀件的检漏, 当需要时给出更多的数据点。
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