纳米定位台的特点和应用
主要特点
高于行业标准3倍速度:<4ms的阶跃稳定时间和100μm的闭环位移控制;600Hz的响应频率;20N/μm的刚度
装备双传感器技术:在不同的负载下无需重新校准;*的机械带宽;
的ZSY纳米传感器定位性能:0.1nm的定位噪音;0.01%的线性度;0.005%的剩余磁滞;
免工具安装适配器;
超级不胀钢结构设计获得*的聚焦稳定性。
纳米定位台应用领域
表面结构分析;
自动对焦系统;
共焦显微镜;
扫描干涉仪。
纳米定位台采用无摩擦无空回的柔性铰链导向机构,采用有限元分析优化柔性铰链结构,具有超高的导向精度,定位精度可达纳米级,分辨率达亚纳米,毫秒级定位稳定时间,产品体积小巧,结构紧凑,易于集成到其他设备中。