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造一台光刻机竟要挑战极限?之芯片的由来

来源: 青岛佳鼎分析仪器有限公司

2024/8/4 7:30:40 111

造一台光刻机竟要挑战极限?


        在通讯和网络相关领域中,芯片起着至关重要的作用。由于的原因,大众对于芯片制造行业越来越关注。


       我们常说的芯片也就是集成电路,是指通过一系列特定平面制造工艺将各种元器件“集成”在一块半导体单晶片上,并封装在一个保护外壳内,这种复杂的电子系统能执行特定功能。而纵观整个芯片制造流程,其中最复杂也是的莫过于光刻机。

为什么是7nm

       10nm”7nm”“5nm”这些词大家想必都不陌生。2018年,中微半导体成功研制7nm的刻蚀机,这是国产造芯的一大进步。(但是成功研制刻蚀机并不代表我们就有能够制造7nm制程的芯片的实力,原因后面会讲到。)

这些数字指的是什么?为什么我们需要所谓7nm的光刻机呢?

       芯片界有一个的定律——摩尔定律,即集成电路上可以容纳的晶体管数目大约每24个月增加一倍,当然对应的理论性能也能增加一倍。但如何在同样尺寸的芯片上增加晶体管数量呢?当然就是把晶体管做小,提高晶体管密度。

    “7nm”中的数字最初指的就是晶体管中的沟道长度,它也是区分半导体加工技术换代的重要标志(当然现在的命名更多的是代表技术迭代,其实是要长于7nm的)。想把晶体管越做越小,自然需要更精密的刻刀——光刻机,所谓7nm光刻机就是光刻机能刻蚀的分辨率。

光刻的原理非常简单,和胶片相机的原理很相似。光线通过刻有电路图案的板子(我们可以叫他掩模版),硅片上的光刻胶曝光,曝光后的光刻胶会发生性质变化,从而将掩模版上的图案复制到硅片上。原理简单,难的是如何实现更精确的光刻。


文章节选来源于科学大院 作者王智豪
科学大院-科普平台
原文于2021年12月29日,原标题为《制造一台光刻机,究竟有多难?》

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