双级减压器与单级减压器
双级减压器(Two Stage Regulator)
气体工业名词，气体经两次减压到使用压力。其流速和压力稳定性于单级减压器。属于纯，防扩散，金属膜片结构；采用316L或黄铜材质；组装前所有零部件均经超声波清洗；在100级洁净室内组装，试验和包装。包装在充氮气(经0101Lm过滤器过滤)的双层聚乙烯袋中。要求减压器死体积小。入口压力zui为21MPa；出口压力为01007～015MPa，流量系数为0106，工作温度为-40～175℃，内表面光洁度为15～25Ra，内漏1×10-9mLs(He)；出口压力升：入口压力每升017MPa，则出口压力上升7kPa。
单级减压器(Single Stage Regulator)
气体工业名词，气体经一次减压到使用压力，由于压比大，排气压力的稳定性比双级减压器差，但结构简单，价格相对要一些。通常安装在钢瓶出口管上，适用于纯气体，有毒气体，腐蚀性气体。装有20Lm过滤器，以保护提动头不受外部污染。与气体接触的部件全部采用316L不锈钢，经电化学抛光和钝化处理，表面光洁度为15Ra。所有部件经超声波清洗，在100级洁净室内组装，试验和包装。每台减压器需单独进行氦质谱检漏，包装在充氮气的双层聚乙烯袋中。进口气体压力从负压到2410MPa；排气压力为01007～015MPa，试验压力为34MPa；流量系数(CV)为0109；工作温度为-40～71℃；内漏2×10-10mLs(He)；外漏2×10-9mLs(入口压力2MPa)。
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