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所有设备真空腔体的真空度检测主要是用真空规，一般前级真空一个，本底和工艺监控各一个，如果进口的真空计，皮拉尼、热电离规、电容薄膜规等，中国的真空设备厂家中，使用广泛的进口真空测量产品是深圳市科锐诗汀代理的瑞士英福康（INFICON）的真空计及控制器。

但是困扰使用者的一个问题是英福康（INFICON）的真空计及控制器种类繁多，型号规格貌似没有规律，很难记忆，今天我们就尝试着解开这个困扰。

真空计从原理上划分很多种类，还有一些复合真空计，从大类上就可以分十几种，加上测量宽度和精度的不同排列组合，可以细分成几十种，根据实际应用可能会构成多种选型，的确会让不熟悉的人头疼不已，不过，英福康（INFICON）的真空计的命名还是有规律可循的：

• 命名由三段组成：3个英文字母+3个阿拉伯数字+英文和数字的后缀
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• 以真空计的原理或原理命名者的英文单词首字母组合来命名
• Capacitance Diaphragm Gauge）就是CDG
• 型真空计（Bayard Alpert Gauge）就是BAG
• Pirani Standard Gauge）就是PSG
• Vacuum Gauge Controller）就是VGC
•  两种原理复合真空计以真空计的两种原理或原理命名者的英文单词首字母+真空规的英文首字母G组合来命名

B-A 型皮拉尼真空计（Bayard-Alpert Pirani Gauge）就是BPG

• Pirani Capacitance diaphragm Gauge）就是PCG
• Magnetron Pirani Gauge）就是MPG

• 三种或以上原理复合真空计多以更重要的两种原理或原理命名者的英文单词首字母+真空规的英文首字母G组合来命名

B-A 型皮拉尼电容膜片真空计（Bayard-Alpert Pirani Capacitance diaphragm Gauge）就是BCG

• 有特殊功能的真空计以该功能的英文单词首字母+真空计的原理或原理命名者的英文单词首字母+真空规的英文首字母G组合来命名
• High Pressure Hot Ionization Pirani Gauge）就是HPG
• 增强型（Enhance）功能的真空计则往往把该英文单词首字母放在后
• Pirani Gauge Enhanced）就是PGE
• 个别以真空计的原理或原理命名者的英文单词只有一个，就用首两个字母+真空规的英文首字母G组合来命名
• Penning Gauge）就是PEG
• 第二段的三个数字和第三段的具体对应什么细节/条件/功能就要查产品手册了。