HPG400 大气压到高真空真空计

HPG400高压强热电离皮拉尼真空计

INFICON 高压热电离 Pirani真空计 HPG400 将高压热电离技术与 Pirani 传感器整合在一个体积小、价格低的规管中，可测量 2×^10-6 mbar 至大气气压（1.5×^10-6 Torr 至大气气压）范围内的压力。HPG400 提供高可重复性和再现性压力测量，实现精确控制镀溅过程压力。

好处

• HPG400 可节省成本和工具空间，降低真空系统的安装与设置的复杂性

• 高压热电离可以准确可靠地测量 1 X ^10-5 至 1 mbar 范围内的压力，进而改善过程控制

• 用户可选的热电离发射在 5 X ^10-2 至 1 mbar 之间启动

• 皮拉尼联锁保护丝极，防止过早烧毁

• 备有可选的图形显示器和现场总线接口

• 高真空皮拉尼自动调节，减少操作员的干预

• 符合 RoHS 标准

典型应用

• 半导体制造、电子工业和媒体工业中的溅镀应用

• 工业镀膜

• 低真空至高真空范围内的一般真空测量和控制