手动探针台常见问题解答

2019年悄然到来，新年新气象，开年伊始就收到很多朋友对手动探针台使用问题的咨询，在此收集整理供手动探针台相关信息供大家参考。因经验有限，有说的不合适的地方，望大家指正。

一：手动探针台用途：

探针台主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试。 广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发，旨在确保质量及可靠性，并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。

手动探针台的主要用途是为半导体芯片的电参数测试提供一个测试平台，探针台可吸附多种规格芯片，并提供多个可调测试针以及探针座，配合测量仪器可完成集成电路的电压、电流、电阻以及电容电压特性曲线等参数检测。适用于对芯片进行科研分析，抽查测试等用途。

手动探针台应用领域：

Failure analysis  集成电路失效分析                   

Wafer level  reliability晶元可靠性认证

Device characterization 元器件特性量测               

Process modeling塑性过程测试(材料特性分析)

IC Process  monitoring  制成监控                     

Package part probing  IC封装阶段打线品质测试

Flat panel probing 液晶面板的特性测试                

PC board probing  PC主板的电性测试

ESD&TDR testing    ESD和TDR测试                      

Microwave  probing  微波量测(高频)

Solar太阳能领域检测分析                              

LED、OLED、LCD领域检测分析

二：手动探针台的使用方式：

1.将样品载入真空卡盘，开启真空阀门控制开关，使样品安全且牢固地吸附在卡盘上。

2.使用卡盘X轴/Y轴控制旋钮移动卡盘平台，在显微镜低倍物镜聚焦下看清楚样品。

3.使用卡盘X轴/Y轴控制旋钮移动卡盘平台将样品待测试点移动至显微镜下。

4.显微镜切换为高倍率物镜，在大倍率下找到待测点，再微调显微镜聚焦和样品x-y，将影像调节清晰,带测点在显微镜视场中心。

5.待测点位置确认好后,再调节探针座的位置,将探针装上后可眼观先将探针移到接近待测点的位置旁边,再使用探针座X-Y-Z三个微调旋钮,慢慢的将探针移至被测点,此时动作要小心且缓慢，以防动作过大误伤芯片，当探针针尖悬空于被测点上空时，可先用Y轴旋钮将探针退后少许，再使用Z轴旋钮进行下针，后则使用X轴旋钮左右滑动，观察是否有少许划痕，证明是否已经接触。

6.确保针尖和被测点接触良好后，则可以通过连接的测试设备开始测试。常见故障的排除

当您使用本仪器时，可能会碰到一些问题，下表列举了常见的故障及解决方法。

手动探针台技术参数。

三：手动探针台规格描述 

（以实验室常见的仪准ADVANCED八寸，六寸探针台为例） 

仪准科技致力于失效分析设备研发及测试服务：优势设备有手动探针台probe，激光开封机laser decap，IV自动曲线量测仪，微光显微镜EMMI,红外显微镜

探针台载物台平整度：5μm

探针台右侧标配显微镜升降机构，可抬高显微镜，便于更换镜头和换待测物

探针台左侧标配升降器,可快速升降台面8mm，并具备锁定功能

探针台右下方标配精调旋转轮，可微调控制台面升降范围25mm（客户有特殊需求，可以增大范围），精度1μm

6英寸或者8英寸载物盘可选，卡盘平整度：5μm，采用真空吸附方式，中心孔径250μm-1mm定制

卡盘可0-360度旋转，旋转角度可微调，微调精度为0.1度，标配角度锁定旋钮

大螺母可控制载物盘X-Y方向的移动，移动范围为150mm or 200mm，移动精度为1μm

载物台具备快速导入导出功能，便于上下料

载物台up/down功能（选项）

可搭配金相高倍显微镜和体式显微镜，显微镜X-Y-Z移动范围2.5英寸，移动精度1um

可搭配4~8颗探针座，进行DC或者高频测试

可选附件

射频测试探头及电缆                                   

有源探头

低电流/电容测试                                      

高压模块

激光修复                                             

高清数字相机

探针卡/封装/PCB板夹具                                

Hot Chuck

防震桌                                               

屏蔽箱

兼容测试仪器

各种型号示波器                                       

各种品牌型号的源表

安捷伦B1500、安捷伦4155、安捷伦4156                              

Keithley 4200

各品牌的网络分析仪                               

应用领域

Failure analysis  集成电路失效分析                   

Wafer level  reliability晶元可靠性认证

Device characterization 元器件特性量测               

Process modeling塑性过程测试(材料特性分析)

IC Process  monitoring  制成监控                     

Package part probing  IC封装阶段打线品质测试

Flat panel probing 液晶面板的特性测试                

PC board probing  PC主板的电性测试

ESD&TDR testing    ESD和TDR测试                      

Microwave  probing  微波量测(高频)

Solar太阳能领域检测分析                              

LED、OLED、LCD领域检测分析

机台总述

重量：50kg（含显微镜）

尺寸：720mm宽*680mm长*80mm高（含显微镜）

动力需求：电源220V/1；4~6KG压缩空气

四：手动探针台维护和保养

1. 避免碰撞：在安装，操作手动探针台时应避免碰撞，机体放置需平坦，不可倾斜或横倒，避免机器发生故障或异常异音。

2.仪器的运输：仪器运输时，请先拔掉电源线插头。

仪器运输应使用专门的包装箱，避免碰到探针台的任何运动部件。

3.仪器的存放

使用完后需要注意保持清洁，尽量把灰尘吹干尽，以免灰尘将机械精密部件，光学部件，电学接触面污染，导致仪器精度降低。

探针台机体清洁时，避免直接泼水清理，以无尘布轻轻擦拭并吹干即可。不可用硬物接触机器，以免发生故障或危险。

探针台光学部件清洁时，可用镜头纸蘸*从中间向外轻轻的擦拭。*时易燃物，注意使用安全。

停电或长期不用、外出旅行时，请将电源线插头拔掉以维护机器寿命。

操作人员必须严格按要**作，以保证数据的准确和仪器的正常使用。

4.工作环境

探针台应放在稳定可靠的台面上，可以是具有防震装置的工作台上，避免在高温，潮湿激烈震动，阳光直接照射和灰尘较多的环境下使用。

使用适宜温度范围为5℃～40℃，适宜湿度是40%到85%，空气中之湿度若低于30%以下，可靠湿度控制器予以控制，使维持50%至60%之范围。使用时门窗尽可能关闭，使室内达到除湿效果。

使用电源：220正负10%，50至60Hz

五：手动探针台采购注意事项

因手动探针台属于高定制产品，没有统一标准，各单位可以根据自己的实际实验需求，及经费情况，由专业工程师配合做出具体配资单，一般确认配置可以问的几个问题，这些问题清楚了，具体配置也就清楚了。

1、大需要测几英寸的晶圆或者元器件？ 
2、探针台机械精度要求多高？ 
3、测试点（pad）尺寸规格为多少？
4、多同时需要几根探针？ 
5、搭配测试仪器是什么？ 
6、测试环境时是否会需要加热或者降温？ 
7、是否需要防震桌？ 
8、是否需要屏蔽箱？

以上是对大家关心手动探针台问题的整理，仅供参考，若有不妥之处，欢迎指正。