真空机械手SRBZ820C-SMSX/G洁净机器人描述：磁流体密封、网络化控制器、MCBF大于1000万次，SEMI认证S2，F47，迎合个性化设计具有手臂长度、自由度可选，手指及接口用户可定制的特征，耐高温、耐腐蚀，动态纠偏和碰撞保护功能。

简介真空机械手SRBZ820C-SMSX/G洁净机器人

Introduction

机械手采用耐高温手指有隔热设计，可用于放置高温托盘，短时间耐高温300℃以上。指部、腕部灵巧的设计理念降低了接触面的表面粗糙度，加大热阻。同时具有噪音小、振动小、运行平稳、精度高等特点。具有更灵敏的碰撞保护功能，有效保护机械手和客户晶圆。全新的轨迹规划，提高运动节拍，提高了用户产能。在半导体前道设备中广泛应用，推动了国内半导体产业链的进步，有效的支撑了国内设备商的发展。

新松机器人自动化股份有限公司（以下简称“新松”）成立于2000年，隶属*，是一家以机器人技术为核心的高科技上市公司。作为中国机器人企业及国家机器人产业化基地，新松拥有完整的机器人产品线及工业4.0整体解决方案。以创新、开放和共赢的思维行业进步，以*的产品和服务为客户持续创造价值。新松本部位于沈阳，在上海设有总部，在沈阳、上海、杭州、青岛、天津、无锡建有产业园区。同时，新松积极布局市场，在设立六大研发机构，在韩国、新加坡、泰国、香港等地设立多家控股子公司，现拥有4000余人的研发创新团队，形成以自主核心技术、核心零部件、核心产品及行业系统解决方案为一体的全产业价值链。