预对准机SALN-612A-2V洁净机器人

晶圆预对准是晶圆搬运以及整个IC制造过程中的重要环节,晶圆的定位与识别都需要Pre-aligner的参与。晶圆预对准的目的是计算晶圆的偏心并找到其缺口,进而补偿其偏心并将缺口转至一预设方向,为下一步的晶圆识别或处理做好准备。新松Pre-Aligner具有定位精高、对准速度快等优点，大大缩短了晶圆的传输与处理时间，提高了晶圆的生产效率。

预对准机SALN-612A-2V洁净机器人

更多详情，请单击新松洁净产品资料库

参数

Parameter

新松机器人自动化股份有限公司（以下简称“新松”）成立于2000年，隶属*，是一家以机器人技术为核心的高科技上市公司。作为中国机器人企业及国家机器人产业化基地，新松拥有完整的机器人产品线及工业4.0整体解决方案。以创新、开放和共赢的思维行业进步，以*的产品和服务为客户持续创造价值。新松本部位于沈阳，在上海设有总部，在沈阳、上海、杭州、青岛、天津、无锡建有产业园区。同时，新松积极布局市场，在设立六大研发机构，在韩国、新加坡、泰国、香港等地设立多家控股子公司，现拥有4000余人的研发创新团队，形成以自主核心技术、核心零部件、核心产品及行业系统解决方案为一体的全产业价值链。