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沈阳市所在地
简介TTS-3000 EFEM洁净机器人
Introduction
新松一直致力于提供半导体晶圆加工和其他复杂的制造环境所需的高性能、超洁净和久经考验的可靠性。公司成功研发了真空传输平台，该平台是集成大气机器人，预对准机等部件的综合性产品，可以给客户提供晶圆传送的一体化方案。产品具有很强的适应性，以满足特定的应用需求。推动了国内半导体产业链的进步，有效的支撑了国内设备商的发展。满足半导体制造商的期望和要求。
TTS-3000 EFEM洁净机器人
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参数
Parameter
结构形式 Mechanical Structure Machine Design reference standard | 柱坐标型 SCARA Cylindrical Coordinate/SCARA | |
|---|---|---|
驱动方式 Drive method User Interface Design reference standard | 伺服电机servo motor | |
手数量 Number of Arm | 1 | |
| 自由度数DOF | 4+1（外部轴） | |
运动范围 Moving Range | 升降轴Z -Axis | 330mm |
| 回转轴T-axis | 330° | |
| 伸展轴R-axis | 待定 | |
| 腕关节轴W-axis | 0—180° | |
运动速度 Moving Speed | 升降轴Z -Axis | 330mm/s（Maximum） |
| 回转轴T-axis | 360°/s（Maximum） | |
| 伸展轴R-axis | 1000mm/s（Maximum） | |
| 外部轴external axis | 1200mm/s（Maximum） | |
| 腕关节轴W-axis | 180°/s | |
| 负载能力Payload | 300mm晶圆wafer | |
| 重复定位精度Repeatability | ±0.1mm | |
| 大振动Max Vib | ±0.3g | |
| 置换重复性Displacement repetitive | 0.05mm | |
| ARM水平度 | ±0.15°/800mm | |
| 可靠性Reliability | >100,000,000 MCBF | |
