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生产厂家厂商性质
沈阳市所在地
简介SRBZ820C-SMSX洁净机器人
Introduction
采用*的直驱电机驱动技术，具有噪音小、振动小、运行平稳、精度高等特点。具有更灵敏的碰撞保护功能，有效保护机械手和客户晶圆。全新的轨迹规划，提高运动节拍，提高了用户产能。安全区保护等功能有效地提高了产品的安全等级。在半导体前道设备中广泛应用，对设备可靠性要求高。灵活的本地化、可定制化服务，快速响应的售后服务，以及敦实的技术实力，是我们的主要竞争力。推动了国内半导体产业链的进步，有效的支撑了国内设备商的发展。
参数SRBZ820C-SMSX洁净机器人
Parameter
| 结构形式Mechanical Structure | 柱坐标型/SCARA型 Cylindrical Coordinate/SCARA | |
|---|---|---|
| 密封方式Seal way | 磁流体密封Ferro-Fluidic Sealing | |
| 自由度数DOF | 2 | |
| 负载Payload | 名称name | 托盘Tray |
| 直径diameter | Φ370mm | |
| 重量weight | 2.5kg | |
大运动范围 Moving Range | R轴（mm）R-Axis | 立柱中心至R轴大伸展处被搬运物体中心距离820 Distance from pillar center to the moving objects center of the biggest R-axis stretching is R820mm |
| θ轴（°）θ-Axis | ||
全行程小时间 Minimum running time | R轴（s）R-Axis | 2.5 |
| θ轴（s）θ-Axis | 3.5 | |
重复定位精度 Repeatability | θ轴（°）θ-Axis | ±0.01（3σ） |
| R轴（mm）R-Axis | ±0.1（3σ） | |
| 重量Weight | 机械手本体Main-body | 41kg |
| 控制器Controller | 15kg | |
| 耐真空度Base Pressure (Pa) | 10-5Pa | |
| 漏率leak rate | <1*10E-8Mbar*L/s | |
| 碰撞保护Collision Protect Function | 盘片和机械手无损伤Disc and robot without damage | |
