简介SRBZ1440A洁净机器人

Introduction

大负载真空机械手， LED芯片制造领域的真空机械手产品，主要用于LED芯片制造过程中，实现装有大量LED晶圆的托盘在各个工艺腔室间的传送，具有真空度高，负载大，传输效率高，耐高温等特点，大大提高了LED芯片生产制造的良率和效率，是LED芯片制造装备的关键产品。传统的LED芯片制造采用集成电路制造制程应用的真空机械手，其负载能力只有1kg。本产品在集成电路制造用真空机械手的基础上，针对其大负载需求，创新了其传输结构和控制规律，使其能够达到20.5kg的负载能力，同时保持很小的占用体积，保持高耐真空度及洁净等级。

SRBZ1440A洁净机器人新松机器人自动化股份有限公司（以下简称“新松”）成立于2000年，隶属*，是一家以机器人技术为核心的高科技上市公司。作为中国机器人企业及国家机器人产业化基地，新松拥有完整的机器人产品线及工业4.0整体解决方案。以创新、开放和共赢的思维行业进步，以*的产品和服务为客户持续创造价值。新松本部位于沈阳，在上海设有总部，在沈阳、上海、杭州、青岛、天津、无锡建有产业园区。同时，新松积极布局市场，在设立六大研发机构，在韩国、新加坡、泰国、香港等地设立多家控股子公司，现拥有4000余人的研发创新团队，形成以自主核心技术、核心零部件、核心产品及行业系统解决方案为一体的全产业价值链。