PSL系列标准粒子制造系统-深圳市微仪测控技术有限公司手机版

详细介绍

PSL系列标准粒子制造系统
集成型号 PSL-SPMS2
近年来，半导体产业技术的飞速发展，对原材料的管理、制造环境的管理、洁净车间的管理等过程控制对产品制造的直接影响越来越得到深度关注。
另一方面，医疗、环境环保领域，颗粒状物质对人体的影响逐步认知之后，医疗制品的清洁度管理和大气环境微粒子污染检查、微粒子监测与检测的必要性不断提高。
上述背景下，生产环境的清洁度管理，微粒子检测和监测、检测仪器校正和性能测试，各种环境试验过程中免不了使用纳米级到微米级范围内的微粒，PSL标准粒子成为各大用户首要选择的必要标准物质。现在聚苯乙烯球（PSL）系列标准粒子使用非常广泛。
标准粒子的应用范围：
1、微粒子技术装置的校正
（气相微粒子计数器、液相微粒子计数器）
2、表面检查装置
   如硅片表面检查、玻璃基板检查
3、浊度标准
         浊度计校正
4、滤膜过滤性能检定
     液体用滤膜、气体用滤膜检定中使用
5、可视化技术
          半导体行业硅片表面粒子的可视化
6、临床检查
           血液细胞的检查、荧光粒子的制作等
7、生物健康影响评价
           评价暴露健康影响实验等

目前同一粒径范围（单分散）的PSL粒子大量生产的方法目前很多研究所和企业已经掌握，但PSL标准粒子的真正设计流程和操作部分的动态设计非常复杂，其设计理论还没有一般公开化！现我公司提供比较成熟且认可的PSL标准粒子制造系统和技术流程。

一、PSL标准粒子制造工艺

PSL标准粒子的一般的制造过程如Fig.1所示。制造过程包括合成、精制、检测，调整等4个阶段。聚苯乙烯物理化学性质如Table1所示、目前PSL标准粒子的相关特性要求如Table2所示。制造标准粒子的时候必须参照国家相关标准（国内GB标准，目前有无？？）和国际通用的标准粒子比对溯源。一般制造不同粒径标准粒子时，可以参照national institute of standards and technology（NIST）公司的标准物质（Standard reference material）如SRM1964、SRM1963，也可以参考日本JCR公司标准品等等。

二、PSL工艺系统设备

No	系统组成及主要功能
1.粒子合成	PSL标准粒子合成系统（有效容积1L）（该系统是由微反应器、搅拌电机、均质电机、温度传感器、蠕动泵、反应气氛调节等多个部分构成，具有温度调节功能、搅拌功能、均质功能、备用接口、氮气置换功能、精密给功能等）为了分析PSL标准粒子的分子量和结构建议单位配制凝胶色谱仪（GPC）或者核磁共振波谱仪（NMR）；
2.粒子精制	PSL标准粒子精制系统（该部分系统主要是由渗析精制系统、高速离心系统，蒸发干燥系统等组成，主要功能是通过渗析精制系统去除杂质和未反应的物质去除精制、高速离心系统是分离PSL粒子和水的混合液，喷雾干燥系统防止PSL标准粒子情况下蒸发或喷雾干燥）
3.粒径检测	PSL粒子粒径检测系统（此部分主要分析制备的PSL粒子混合液的粒径分布；分析CV值、正态分布特性、以及不确定度的分析，为制备出的粒子进行全面的评价）使用的设备为马尔文粒径谱仪来实现部分上述内容
4.粒子配制	PSL配制特定粒径的标液（此过程中需要检测，要检测标准粒子分散液中PSL粒子的重量（蒸发水分）；粒子的数量浓度需要SEM观察评价，直接读出，制备出个数浓度的标准液。）标注相关粒径特性；为了配制过程中防止交叉污染，使用的容器和包装方法等不包含在内。

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