光干涉透射法检测元件厚度差的原理：
在激光干涉仪进行透射测量时，激光光源发出的单色光,垂直向下经过被检元件上、下两表面被标准反射镜反射后会形成干涉条纹，每个点上所生的干涉条纹取决于该点上两相干的光的光程差。当光程差为nλ+0.5λ时，显示为暗条纹；当光程差为nλ+λ时，显示为亮条纹；
所以，当被检元件的两个面不平行，存在楔角时，沿楔角方向，元件的厚度逐渐增大，相应的光程差也逐渐变大，沿楔角方向就会产生间隔分布亮暗条纹。楔角越大，条纹越密集。

检测指标的简单说明：
PV值在数学上的定义是峰谷值( Peak to Valley),即值和最小值的差值。单位是λ(波长)。对应到干涉仪透射检测上，就是被检元件的厚度差。

RMS值在数学上的定义是均方根值(root-mean-square)，单位是λ(波长),这是一个统计值，RMS的大小反映了这些数据值的离散程度。对应到干涉仪透射检测上，RMS值越小表明被检元件的厚度平滑性越好，高低起伏越少。

条纹根数是肉眼可见的被检元件厚度差的直观表现，与PV值成线性关系。条纹根数越少表明被检元件的厚度差越小。

技术参数：

实物图：