东京精密ACCRETECH抛光机PG3000RMX

东京精密ACCRETECH抛光机PG3000RMX

抛光机PG3000RMX；高刚性磨床HRG3000RMX,HRG300,HRG300A,HRG200X

PG3000RMX特征：

除了“PG300/PG200”工艺之外，还实现了从薄化晶圆上贴附的表面保护胶带剥离到将晶圆贴附到切割框上的工艺，在一台设备中实现。

粗磨、精磨、抛光工序用一台设备实现晶圆的双面清洗。无需使用化学品即可去除受损层。不会因湿法工艺而产生粉尘。

数据管理和通信，包括与传输机制一致的RM模块，以限度地减少薄晶圆传输的数量。

高刚性磨床HRG3000RMX特征：

实现短时间内无损伤加工。加工成本低。高精度加工。达到镜面效果。

高刚性磨床HRG300/HRG300A特征：

通过将加工点配置在三角形排列的滑动导轨的中心位置，并将横向进给进给轴配置在加工点上，具有对磨削负荷的机械变形小的结构。

由于其高刚性，它可以在短时间内加工，同时抑制磨削损伤。

由于其高刚性，可以进行适当的自锐性加工。延长砂轮的使用寿命。

配备用于批处理的过程中测量仪，在批处理过程中测量晶圆厚度。

全自动高刚性二轴磨床HRG200X特征：

实现短时间内无损伤加工。

加工成本低。

高精度加工。

达到镜面效果。