TOYOKOKAGAKU东横化学清洗机M300

TOYOKOKAGAKU东横化学清洗机M300

SiC功率器件热处理设备Ailesic-2000,Ailesic-1400,Ailesic-1500,Ailesic-1700,Ailesic-X

清洗机M300,M800；ALD设备SAL1000

活化退火设备Ailesic-2000特征：

支持2000°C的SiC激活退火。

新开发的加热技术实现了超快速加热和冷却特性。

满足客户对小批量短时间处理的需求。

通过相同的加热技术和高精度温度控制技术实现稳定的工艺性能，有助于稳定生产。

从开发到6英寸高产能量产的丰富阵容。

在大规模生产工厂中的良好运营记录。

应用：活化退火。

CMP浆料供应系统的特点：

并联供电系统稳定供电。通过触摸屏轻松操作。

高精度复合（可从多种复合方式中选择复合方式。）。

自动冲洗功能。透明内胆，内部状态一目了然。

化学恒流量控制装置概述：

化学恒流控制装置主要用于CMP浆料的供给，也可用于纯水、氢氟酸等多种化学物质的混合。

与传统的使用称量罐和混合罐的批量式供应设备相比，该机组具有：

1. 在线混合限度地减少化学品消耗

2. 批量供应设备无需清洗罐

3. 设备尺寸可以减小

M300是一款半自动FOUP/carrier 清洗机，结构紧凑，可一次处理大量工件。可处理晶圆载具、SMIF POD、各种传送箱、300mm用FOUP、FOSB、RSP及各种工件。这是一种批量处理型清洁/干燥设备，其中工件被设置在安装在腔室内被称为柱的架状框架上的插入物中，然后在旋转的同时进行清洁和干燥。刀片的形状因工件而异，只需轻轻一按即可更换，因此可轻松切换对象工件。

特征：高容量/小占地面积。

超净喷雾系统。拥有成本低。

用于干燥的红外线加热器系统。

通过一键式更换刀片支持各种工件。

SAL1000 ALD设备是一款可安装在桌面上的紧凑型研发设备。

内置两种前驱体，沉积性能在φ100以内±3%（AlO3）以内。

此外，通过使设备更紧凑，我们减少了零件数量。

特征：

沉积过程可以在前触摸屏上设置，压力和操作状态可以检查。

从抽真空到成膜的设定过程自动进行，成膜完成后，按下排气按钮即可取出基板。

配备2个前驱体系统，兼容基板高达φ4"。