性能特点

肖特基场发射电子探针Plus

JXA-8530F Plus采用浸没式肖特基场发射电子*,优化了角电流密度，能利用2 μA以上的大探针电流进行分析，还提高了分析条件下的二次电子像的分辨率。
高级软件

新开发了多种基于Windows操作系统的软件，其中包括：能使痕量元素分析更加简便的“痕量元素分析程序”、能自动制作相图的“相图制作器”以及只需简单输入就能对表面凹凸不平样品进行测试的“不平坦样品的分析程序”等。
灵活的WDS配置

X射线波谱仪可以选择140 R或100 R罗兰圆， 罗兰圆半径为140 mm的XCE/L型X射线谱仪检测范围宽，波长分辨率高和P/ B比优异，100 mm的H型X射线谱仪具有X射线衍射强度高的特点，可以根据需要选择使用。
WDS/EDS组合系统

JXA-8530FPlus标配了JEOL制造的30平方毫米 SD检测器（以下简称SD检测器），凭借高计数率的SD检测器，在与WDS相同的分析条件下可以进行EDS分析，通过简单的操作就能采集EDS谱图。
强力、清洁的真空系统

**力真空系统包括两台磁悬浮涡轮分子泵， 镜筒内还采用两个中间室，通过差动抽气保持电子*室的高真空。
软X射线分析谱仪 (SXES)

SXES (Soft X-Ray Emission Spectrometer)软X射线分析谱仪是日本东北大学多元物质科学研究所（寺内正己教授）和日本电子株式会社共同开发的的高分辨率软X射线分析谱仪。 新开发的变栅距衍射光栅(VLS）和高灵敏度的CCD相机组合，同时检测Li-K系谱线和B-K系谱线，该谱仪实现了*的能量分辨率，因而能进行化学结合状态分析等。
miXcroscopy （关联显微镜)

miXcroscopy 光学显微镜/扫描电子显微镜关联系统能批量登录光学显微镜的坐标数据作为EPMA的分析点，该系统*适合于需要用光学显微镜决定分析位置的样品。
多功能样品室

样品室的可扩展性强，配备了样品交换室，可以安装各种附件。
可以安装的附件：

电子背散射衍射系统（EBSD）
阴极荧光检测系统
软X射线分析谱仪
不暴露在大气环境下的转移舱
高蚀刻速率的离子源

应用领域

电子探针可以对试样中微小区域（微米级）的化学组成进行定性或定量分析，可以进行点、线扫描（得到层成分分布信息）、面扫描分析（得到成分面分布图像）。还能全自动进行批量定量分析。由于电子探针技术具有操作迅速简便、实验结果的解释直截了当、分析过程不损坏样品、测量准确度较高等优点，在冶金、地质、电子材料、生物、医学、考古以及其它领域中得到日益**地应用，是矿物测试分析和样品成分分析的重要工具。