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面议基恩士VR-3200 3D轮廓测量仪 测量范围是以往的5倍从产品整体的形状测量乃至粗糙度测量，无论是大范围还是细微部位，均可由1台设备完成测量。 3D-CAD比较测量功能可比较测量成品与设计之间的差异，并对测量数据进行CAD输出。 |
|
型号 | VR-3200 | |||
类型 | 工作头 | |||
适用控制器 | VR-3000K | |||
观察测量范围 | 大视野模式 | 15 英寸显示器上的倍率 12x | 横(H) | 24mm |
纵(V) | 18mm | |||
15 英寸显示器上的倍率 25x | 横(H) | 12mm | ||
纵(V) | 9mm | |||
15 英寸显示器上的倍率 38x | 横(H) | 8mm | ||
纵(V) | 6mm | |||
15 英寸显示器上的倍率 50x | 横(H) | |||
纵(V) | 4.5mm | |||
高倍率模式 | 15 英寸显示器上的倍率 40x | 横(H) | 7.6mm | |
纵(V) | 5.7mm | |||
15 英寸显示器上的倍率 80x | 横(H) | 3.8mm | ||
纵(V) | 2.9mm | |||
15 英寸显示器上的倍率 120x | 横(H) | 2.5mm | ||
纵(V) | 1.9mm | |||
15 英寸显示器上的倍率 160x | 横(H) | |||
纵(V) | 1.4mm | |||
变焦 | 1 至 4 倍 | |||
可测量高度 | 大视野模式：10mm(±5mm) 高倍率模式：1mm(±0.5mm)*1 | |||
显示分辨率 | 0.1 µm*2 | |||
重复精度(б) | 高度测量 | 0.5µm*3 | ||
宽度测量 | 大视野模式：1 µm、高倍率模式：0.5 µm*3 | |||
测量精度 | 高度测量 | ±3 µm*3 | ||
宽度测量 | 大视野模式：±5 µm、高倍率模式：±2 µm*3 | |||
连接功能 | 全自动(XY 自动控制+ 自动对焦)测量*4 | |||
载物台 | XY 行程 | 184 × 88 mm(电动) | ||
Z 行程 | 90 mm(电动) | |||
旋转构造 | ±180°（试料旋转载物台） | |||
倾斜构造 | ±30° 以上 | |||
操作距离 | 75 mm | |||
图像接收元件 | 1 英寸 400 万像素单色 C-MOS | |||
投光镜头 | 双远心镜头 x2 | |||
受光镜头 | 双远心镜头 | |||
照明系统 | 观察用光源 | LED 环形照明(红、绿、蓝) | ||
测量用光源 | 白色 LED | |||
图像尺寸 | 1024 x 768 pix, 2048 x 1536 pix | |||
数据处理部 | 基恩士专用 PC(OS 为 Windows7)*5 | |||
额定 | 电源电压 | 100 至 240 VAC ±10 %、50/60 Hz | ||
功率消耗 | 150 VA | |||
环境抗耐性 | 环境温度 | +15 至 +30 °C | ||
相对湿度 | 35 至 80 % RH (无凝结) | |||
重量 | 28.0 kg | |||
型号 | VR-3200 | |||
类型 | 工作头 | |||
适用控制器 | VR-3000K | |||
观察测量范围 | 大视野模式 | 15 英寸显示器上的倍率 12x | 横(H) | 24mm |
纵(V) | 18mm | |||
15 英寸显示器上的倍率 25x | 横(H) | 12mm | ||
纵(V) | 9mm | |||
15 英寸显示器上的倍率 38x | 横(H) | 8mm | ||
纵(V) | 6mm | |||
15 英寸显示器上的倍率 50x | 横(H) | |||
纵(V) | 4.5mm | |||
高倍率模式 | 15 英寸显示器上的倍率 40x | 横(H) | 7.6mm | |
纵(V) | 5.7mm | |||
15 英寸显示器上的倍率 80x | 横(H) | 3.8mm | ||
纵(V) | 2.9mm | |||
15 英寸显示器上的倍率 120x | 横(H) | 2.5mm | ||
纵(V) | 1.9mm | |||
15 英寸显示器上的倍率 160x | 横(H) | |||
纵(V) | 1.4mm | |||
变焦 | 1 至 4 倍 | |||
可测量高度 | 大视野模式：10mm(±5mm) 高倍率模式：1mm(±0.5mm)*1 | |||
显示分辨率 | 0.1 µm*2 | |||
重复精度(б) | 高度测量 | 0.5µm*3 | ||
宽度测量 | 大视野模式：1 µm、高倍率模式：0.5 µm*3 | |||
测量精度 | 高度测量 | ±3 µm*3 | ||
宽度测量 | 大视野模式：±5 µm、高倍率模式：±2 µm*3 | |||
连接功能 | 全自动(XY 自动控制+ 自动对焦)测量*4 | |||
载物台 | XY 行程 | 184 × 88 mm(电动) | ||
Z 行程 | 90 mm(电动) | |||
旋转构造 | ±180°（试料旋转载物台） | |||
倾斜构造 | ±30° 以上 | |||
操作距离 | 75 mm | |||
图像接收元件 | 1 英寸 400 万像素单色 C-MOS | |||
投光镜头 | 双远心镜头 x2 | |||
受光镜头 | 双远心镜头 | |||
照明系统 | 观察用光源 | LED 环形照明(红、绿、蓝) | ||
测量用光源 | 白色 LED | |||
图像尺寸 | 1024 x 768 pix, 2048 x 1536 pix | |||
数据处理部 | 基恩士专用 PC(OS 为 Windows7)*5 | |||
额定 | 电源电压 | 100 至 240 VAC ±10 %、50/60 Hz | ||
功率消耗 | 150 VA | |||
环境抗耐性 | 环境温度 | +15 至 +30 °C | ||
相对湿度 | 35 至 80 % RH (无凝结) | |||
重量 | 28.0 kg | |||
