气相沉积设备
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湘潭市所在地
湘潭华丰仪器制造有限公司
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一、气相沉积设备一般是通过一定的气体与之发生气—固或气—液反应，形成适当的气态组分，将产生的气态组分输送入反应室，在这些反应物载入沉积区之前，一般不希望它们之间相互反应，因此，在低温下会相互反应的物质在进入沉积区之前应隔开。
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