真空镀膜机用途及特点
时间:2013-09-22 阅读:4210
真空镀膜机由真空镀膜室、蒸发源、真空机组、卡具、蒸发电源、控制系统与辅助装置等组成。
真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,具体包括很多种类,包括真空离子蒸发,磁控溅射,MBE分子束外延,PLD激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。
真空镀膜机主要特点:
1、配有石英晶体或光学膜厚控制仪,可以实现膜厚镀膜自动控制,实现高精度的镀膜效果。
2、配RF离子轰击装置达到净化基体表面的作用,使膜与基体表面附着力更好,提高膜层的强度。
3、可同时蒸镀两种以上不同的蒸镀材料,可制成复合膜。
4、操作简便、适应生产、科研的理想机。
5、具有过流、过压保护及断水、欠压保护及电气互锁的功能。
真空镀膜机适用范围:
真空镀膜机适用于电子工业、光学工业的导电膜、光学膜、滤光膜、装饰膜等
1.建筑五金:卫浴五金(如水).门锁.门拉手.卫浴、五金合叶、家具等。
2.制表业:可用于表壳.表带的镀膜、水晶制品。
3.其它小五金:皮革五金.不锈钢餐具.眼镜框、刀具、模具等.
4.大型工件:汽车轮毂、不锈钢板.招牌.雕塑等。
5、不锈钢管和板(各种类型表面)
6、家具、灯具、宾馆用具。
7、锁具、拉手、卫浴五金、高尔夫球头、不锈钢餐具、器血等五金制品镀超硬装饰膜。
8、手表、表带、眼镜、首饰等装饰品镀超耐磨装饰(金银)纳米膜和纳米膜和纳米叠层膜。
真空镀膜机操作:
1. 总电源。
2. 同时开电子枪控制Ⅰ和电子枪控制Ⅱ电源:按电子枪控制Ⅰ电源、延时开关,延时、电源及保护灯亮,三分钟后延时及保护灯灭,若后门未关好或水流继电器有故障,保护灯会常亮。
3. 开高压,高压会达到10KV以上,调节束流可到200mA左右,帘栅为20V/100mA,灯丝电流1.2A,偏转电流在1~1.7之间摆动。
关机顺序
1. 关高真空表头、关分子泵。
2. 待分子泵显示到50时,依次关高阀、前级、机械泵,这期间约需40分钟。
3. 到50以下时,再关维持泵。