HET-1型多功能二维材料转移平台

产品介绍

HET-1型二维转移平台适用于石墨烯、各类过渡金属化合物、黑磷等多种单层及其多层二维材料的精确定位转移及范德瓦尔斯异质结的准确制备，实现了低维材料转移的精确可视化操作。本套转移平台由转移台模块、样品台模块、显微观测模块结构、温控模块等组成。该平台是研究低维材料性质、范德瓦尔斯异质结构中低温物理特性、低维材料中表面界面物理性质的有力工具。

产品特点

转移台模块:包含XYZ三维移动台+旋转台+俯仰台；XY向：行程±6.5 mm，精度10 μm；Z向：行程±5 mm，精度0.5 μm；旋转台：粗调360°，细调5°，精度1°；俯仰台：范围±20°，最小读数5′

样品台模块:XYZ三维移动台+旋转台+带真空吸附的加热台；转移台：精度低至10 μm；旋转台：可360°旋转，精度1°；加热台：室温 ~ 250 ℃

显微观测模块:金相显微镜：配置10X、20X、50X超长焦物镜；配置CMOS成像系统及相应软件，综合放大倍数为576~2880倍；预留铰链式双目观察筒，支持配置10X目镜；配置滤波片，支持调光；配备粗微调焦装置，微调精度2 μm

温控模块:高精度PID程序控温，温度可达250 ℃，精度0.1 ℃，升温速率2 ℃/s （at 150 ℃）

技术说明

典型应用：基于低维材料及其异质结的晶体管、光电探测器、光伏器件等微纳电子与光电子器件

台体设计：采用进口精密机械台体，结构紧凑，支持放置于手套箱中

防震设计：底座配备蜂窝内核三层夹心防震光学平台及隔振阻尼垫

结构设计：转移台及样品台支持面内旋转，方便样品进行对准转移

真空吸附：低噪泵体流量 30 L/min，保证样品吸附

选配功能：样品台可集成Z轴电动控制模块，支持集成无线控制，手套箱外用按键调控样品台升降

应用案例：