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MPS-10X型多功能型探针台
产品简介 ：
在实际得科研生产中，由于样品/晶圆（Wafer）得尺寸越来越大，用于测试得探针台相当昂贵，我司根据客户市场应用自主研发得这款结构小巧，功能实用，成本较低得简易式探针台，在满足基本测试功能基础上，去除了非必要得部件，该探针台系统包含：光学成像部分，隔振平台，探针座，四维调整载片台（Chuck），真空吸附系统；
在实际得科研生产中，由于样品/晶圆（Wafer）得尺寸越来越大，用于测试得探针台相当昂贵，我司根据客户市场应用自主研发得这款结构小巧，功能实用，成本较低得简易式探针台，在满足基本测试功能基础上，去除了非必要得部件，该探针台系统包含：光学成像部分，隔振平台，探针座，四维调整载片台（Chuck），真空吸附系统；
主要技术指标：
结构紧凑，功能实用，价格实惠
大可用于12寸以内样品测试
兼容高倍率电子显微镜，可360°旋转和微调升降
漏电流精度：10pA/100fa（屏蔽箱内）
精密丝杠/燕尾传动结构，线性移动，无回程差设计
应用于高等院校/研究所/公司实验室使用
1微米以上电极/PAD使用
模块化设计，可以根据应用增加和去除相应模块
技术参数选型：
规格/参数 | |||||||
型号 | MPS-4 | MPS-6 | MPS-8 | MPS-12 | |||
电力需求 | 220VC,50-60HZ | ||||||
样品台 | 尺寸 | 4寸 | 6寸 | 8寸 | 12寸 | ||
行程 | XY行程50mm，Z轴升降60mm，360°旋转可锁紧 | ||||||
移动精度 | 标配10μm，可升级（5μm，3μm，1μm） | ||||||
背电极测试功能 | 可以引出电极 | 可以引出电极 | 可以引出电极 | 可以引出电极 | |||
定制模块 | 可定制位移行程和精度 | 可定制位移行程和精度 | 可定制位移行程和精度 | 可定制位移行程和精度 | |||
探针调整座 | XYZ行程 | 13mm-13mm-13mm | |||||
机械精度 | 标配10μm，可升级（5μm，3μm，1μm） | ||||||
漏电精度 | 10pA-100fA（配置屏蔽箱） | ||||||
安装方式 | 直接磁力吸附/可调磁力吸附/真空吸附 | ||||||
接口形式 | 香蕉插头/鳄鱼夹/同轴BNC/三同轴BNC | ||||||
光学成像 | 放大倍数 | 7-200倍（大可升级到720倍） | |||||
CCD像素 | 500W（可升级200W） | ||||||
中心距离 | 140mm，升降范围270mm，总高度350mm | ||||||
显示器 | 8寸显示器，将3-17mm的样品放大到整个屏幕（可升级大尺寸显微镜） | ||||||
可选附件 | 加热卡盘 | 高低温卡盘 | 镀金卡盘 | ||||
隔振支架 | 积分球测试选件 | 屏蔽箱 | |||||
射频测试附件 | 导入光源支架 | 波长单色可调光纤光源（测光电流） | |||||
显微镜调节手动/电动调节装置 | 激光切割显微镜 | 转接头配件 | |||||
