MPS-10X型多功能型探针台-北京精科智创科技发展有限公司手机版

详细介绍

MPS-10X型多功能型探针台

产品简介：

在实际得科研生产中，由于样品/晶圆（Wafer）得尺寸越来越大，用于测试得探针台相当昂贵，我司根据客户市场应用自主研发得这款结构小巧，功能实用，成本较低得简易式探针台，在满足基本测试功能基础上，去除了非必要得部件，该探针台系统包含：光学成像部分，隔振平台，探针座，四维调整载片台（Chuck），真空吸附系统；

主要技术指标：

结构紧凑，功能实用，价格实惠

大可用于12寸以内样品测试

兼容高倍率电子显微镜，可360°旋转和微调升降

漏电流精度：10pA/100fa（屏蔽箱内）

精密丝杠/燕尾传动结构，线性移动，无回程差设计

应用于高等院校/研究所/公司实验室使用

1微米以上电极/PAD使用

模块化设计，可以根据应用增加和去除相应模块

技术参数选型：

规格/参数
型号		MPS-4	MPS-6		MPS-8		MPS-12
电力需求		220VC,50-60HZ
样品台	尺寸	4寸	6寸		8寸		12寸
	行程	XY行程50mm，Z轴升降60mm，360°旋转可锁紧
	移动精度	标配10μm，可升级（5μm，3μm，1μm）
	背电极测试功能	可以引出电极	可以引出电极		可以引出电极		可以引出电极
	定制模块	可定制位移行程和精度	可定制位移行程和精度		可定制位移行程和精度		可定制位移行程和精度
探针调整座	XYZ行程	13mm-13mm-13mm
	机械精度	标配10μm，可升级（5μm，3μm，1μm）
	漏电精度	10pA-100fA（配置屏蔽箱）
	安装方式	直接磁力吸附/可调磁力吸附/真空吸附
	接口形式	香蕉插头/鳄鱼夹/同轴BNC/三同轴BNC
光学成像	放大倍数	7-200倍（大可升级到720倍）
	CCD像素	500W（可升级200W）
	中心距离	140mm，升降范围270mm，总高度350mm
	显示器	8寸显示器，将3-17mm的样品放大到整个屏幕（可升级大尺寸显微镜）
可选附件		加热卡盘		高低温卡盘		镀金卡盘
		隔振支架		积分球测试选件		屏蔽箱
		射频测试附件		导入光源支架		波长单色可调光纤光源（测光电流）
		显微镜调节手动/电动调节装置		激光切割显微镜		转接头配件