压电物镜聚焦平台_压电物镜聚焦平台简介_压电物镜聚焦平台详细说明-上海纳动纳米位移技术有限公司

产品简介

Z向 PFC**-80U是采用压电陶瓷驱动的纳米级物镜扫描台，扫描台内部使用无摩擦及空回的柔性铰链导向机构，确保了扫描台的运动精度。扫描台内置精密位移传感器进行全闭环的位置反馈，定位精度、分辨率和稳定性可以达到纳米量级，定位稳定时间仅为毫秒量级。扫描台为无磁材质，使用过程中不产生磁场同时也不受磁场的影响。分立的螺纹适配器，可适配多种型号的物镜。

详细介绍

■ 技术数据

产品型号		PFV-80U（小负载型）**	PFV-80U-S（小负载型）**	公差
运动自由度		Z	Z	-
传感器类型		-	Strain Gage	-
标称行程范围（@0~+120V）		80 μm	80 μm	±20%
zui大行程范围（@-20~+150V）		100 μm	100 μm	±20%
分辨率		2.5 nm	5 nm	typ.
重复定位精度		-	0.05% F.S.	typ.
线性度		-	0.1% F.S.	typ.
承载能力		2 N	2 N	Max.
刚度		1.3 N/μm	1.3 N/μm	±20%
谐振频率	0g	330 Hz	330 Hz	±20%
静电容量		3.4 μF	3.4 μF	±20%
工作温度范围		-10~+70 ℃	-10~+70 ℃	-
*驱动电压范围（）**¹		0~+120 V	0~+120 V	typ.
线缆长度		1.5 m	1.5 m	±10mm
外形尺寸(LxH)		48×40×16.5 mm（不含适配器）	48×40×19 mm（不含适配器）	-
重量		150 g	150 g	±5%
本体材质²		钢（W）	钢（W）	-

说明：

1.zui大驱动电压可在-20V~+150V使用；*使用建议在0~120V驱动电压下可延长使用寿命。

2.表面处理:白色(W)/黑色(B)。

■ 外形尺寸