脉冲能量

At 1053 nm

30 mJ

50 mJ

80 mJ

At 526.5 nm ²⁾

15 mJ

25 mJ

40 mJ

At 351 nm ³⁾

8 mJ

12 mJ

15 mJ

At 263 nm ³⁾

4 mJ

6 mJ

8 mJ

脉冲能量稳定性(Std. Dev) ⁴⁾

At 1053 nm

< 1.5 %

At 526.5 nm

< 3.0 %

At 351 nm

<5.5 %

At 263.25 nm

<7.0 %

脉冲持续时间(FWHM) ⁷⁾

10±2 ps

脉冲持续稳定性 ⁸⁾

± 0.5 ps

大脉冲重复频率 ⁹⁾¹⁰⁾

10 Hz

5 or 10 Hz

5 Hz

偏振性

linear, vertical

预脉冲对比度

> > 200:1

触发模式

internal/external

同步输出脉冲抖动¹¹⁾

< 30 ps

同步输出脉冲导致/延迟 ¹²⁾

-500..50 ns

光束发散角¹³⁾

< 0.7 mrad

< 0.6 mrad

< 0.6 mrad

光斑指向稳定性 ¹⁴⁾

<50 μrad

光斑直径 ¹⁵⁾

~6 mm

~7 mm

~8 mm

物理参数

激光头尺寸(W x L x H)

462x1245x255 mm

600x1600x260 mm

电气柜尺寸W x L x H)

550x600x835

脐长

2.5 m

操作要求

水消耗(max 20 °C)

< 15 l/min

房间温度

22±2 °C

相对湿度

20-80 % (无损耗)

功率需求¹²⁾

three phase, 208 or 380 VAC, 20 A, 50/60 Hz

功率损耗

<2.5 kVA

<3 kVA¹³⁾

<4 kVA