旋涂掺杂材料,Futurrex旋涂掺杂材料-色谱柱

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2020-09-03 21:33:00
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上海尖丰光电技术有限公司

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产品简介

旋涂掺杂涂层应用是在旋涂硼、旋涂磷、旋涂锌；其性质是透明薄膜通过O2 Plasma转化为固态掺杂。其对生产作用是省去掺杂的旋涂玻璃、在一些应用中省去离子植入、省去ampoule中锌掺杂。

详细介绍

旋涂掺杂材料

旋涂掺杂涂层应用是在旋涂硼、旋涂磷、旋涂锌；其性质是透明薄膜通过O2 Plasma转化为固态掺杂。其对生产作用是省去掺杂的旋涂玻璃、在一些应用中省去离子植入、省去ampoule中锌掺杂。

旋涂掺杂材料
涂层材料
BDC1-2000
PDC1-2000
ZDPC2-2000		类型
硼掺杂材料
磷掺杂材料
锌掺杂材料

应用

  • 旋涂掺硼 [a-Si, c-Si应用]
  • 旋涂掺磷[a-Si, c-Si应用]
  • 旋涂掺锌[III/V族衬底]

特性

  • 利用氧等离子体实现透明薄膜的固态掺杂

对生产效率的影响

  • 省去了玻璃旋涂掺杂
  • 在一些应用中省去了离子注入
  • 省去了锌掺杂
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