系统包括手动四点探针台、二个四点探针头、吉时利仪表(Keithley 2400)与软件，以及一台笔记本电脑 ．

Pro4-840N configuration (系统架构)

l 电压与电流(V/I)的量测结果会记录在软件内．

l 系统采用了美国ASTM 标准F84-99

l 测试方法的双架构测试方式以补偿因为四点探针头间距可能不精确或量测接近导电层边缘而造成的量测误差．

l Signatone 同时也提供准确度可追朔至美国国家标准局(NIST)的校准片，适当的使用校准片和QuadPro 提供的校准程序，可确保系统的准确性优于1%．

l Pro4-840N 系统的标准范围是1mΩ/□至800KΩ/□．

主要参数：

探针台尺寸：针对10-200mm 样片；

吉时利仪表(Keithley 2400)，量程范围：1 m? (1x10-3)/□ to 800 K?(800x10+3)/□

Pro4 Software (软件)

使用者只需输入待测样品的大小、形状、待测样品边缘不包括部分的大小与量测点数，Pro4 软件会控制系统的量测、量测资料的撷取、显示、打印与资料的输出(Export)，使用者可设定要显示的参数(如电阻、片电阻或电压/电流)，也可以定义良品/不良品(Pass/Fail)的条件．

量测点会在软件上以图样标示出来，同时提醒使用者将探针移至待测点．

量测结束，量测数据的平均值、标准差、大值与小值会被标示出来，同时可打印

量测数据含良品/不良品的报表．