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厂商性质
上海所在地
• 激光干涉仪主机(GPI™ XP/D, VeriFire™ XP/D, PE, AT+, MST 或波长调制主机)
• MUX分光器(光束转换器)
• 扩束器(12英寸、18英寸、24英寸 、32英寸、36英寸可选)
• 机械相位测量装置用于12英寸和18英寸、24英寸及以上采用波长调制测量技术
• 参考光束-透射平板和参考平板是光学系统必需的附件
• 调整架-用于调整参考光束和测试光束的位置
大口径激光干涉仪系统组件可以与干涉仪主机分开购买,如果您需要系统测量和配置方面的具体信息请联系我们