概要：
本装置是在温度环境下，设定加载电压，对多通道漏电流进行高速测量的装置。
1) 加载电压有两种模式：300V和1000V
2) 标配1台控制单元最多可测试100通道(ch)，1台电脑最多可控制4台控制单元，即可扩展到400通道(ch)。
3) 可设定温湿度箱的温度和湿度
4) 系统最多可搭配4台温湿度箱
5) 拥有温度补正功能 (温湿度箱的显示温度偏差修正)
6) 用Ethernet I/F和PC连接，实现高速通信。

Ø 系统构成
 
1) PC（控制用电脑：Windows10）
2) SMU板（10ch/板）1个测试单元，可配置10块板。
3) 环境试验箱（可使用现有设备或配套购置）
4) 测试单元：最多可配置10块板
5) 测量单元的电源：100V～240V（50Hz或60Hz）



l 测试单元



测试板

板名称	加载电压	测试电流 量程	电阻测试范围	测试通道ch数 (每块板)	试验条件设定
300V板	1.0 ～ 300V	1.00000mA 10.0000uA 100.000nA	300Ω～300TΩ	10ch	1ch/电源。 每块板可单独设定
1000V板	1.0V ～1000.0V	1.00000mA 10.0000uA 100.000nA	100Ω～1000TΩ	10ch	1ch/电源。 每块板可单独设定

规格

设备名称		绝缘电阻测试系统
型号		IRM
板名称		300V板 独立电源板	1000V板 独立电源板
电阻测试范围		300Ω～300TΩ	1000Ω～1000TΩ
测试通道数		10ch/板 (最多100ch/测试单元)	10ch/板 (最多100ch/测试单元)
连接电缆		１根/式/板(中继线) 加载测试电缆×1	2根/式/板(中继线) 加载电缆×1、测试电缆×1
电压 加载部	电压范围	1.0～300.0V	1.0～1000.0V
	分辨率	0.1V
	精度	±0.3%/FS	±0.3%+0.5V/FS
	输出功率	400μW/ch	1000μW/ch
	组	1组(10ch/板)
	量程	1量程
	通道数	10ch
	负载容量	3300pF/ch
电压 监视器	量程	1量程
	范围	0.0～300.0V	0.0～1000.0V
	分辨率	0.1V
	精度	±0.3%/FS	±0.3%+0.5V/FS
	分配单位	1ch
	周期	20msec/10ch
	通道数	10ch
电流 测试	范围	1000μA ～ 10nA   10μA ～100pA   100nA ～  1pA
	量程	自动量程
	最小分辨率	10nA 100pA 1pA
	精度	±0.3% /FS
	通道数	10ch
	最小采集周期	定期60sec
	测试周期	20msec(与通道数无关)

Ø 板的种类-----独立电源板

被测样品单个加载电压的测试板。
优点：当某个样品发生短路，电流超，不会影响到相邻的样品，测试将继续。

Ø 加载电压

 
l 加载电压一定

加载电压和定期收录加载电压相同时（加载到样品上的电压一定时），如下图所示，只有在最初的加载电压时才会产生等待时间，在稳定时间结束前不进行测量。



l 定期收录时的试验电压
加载、定期收录、特定收录的加载稳定时间的设定，只有在加载电压变化时有效。例如，如下图所示，在加载电压和定期收录的加载电压值不同的情况下（加载到样品上的电压发生变化的情况下），当加载电压发生变化时，在稳定时间结束之前不进行测量。



Ø 故障
 
树珊是指在电极之间产生的金属离子的生长状态下，将基板表面从阴极朝向阳极，树枝状金属成分析出的状态。随着时间的推移，树珊逐渐生长，电极之间流动的电流逐渐增大，最终在阳极和阴极之间（+，-电极）接触，变成短路状态，但是短路的地方由于碳化现象绝缘性变大，流动的电流非常少。



这种现象被称为离子迁移，在恒温恒湿状态下，在加载电压的条件下，记录最初发生到形成这
种现象的时间。
利用样品的数量N来分析该现象，可进行寿命预测。
因此，为了提高寿命预测的精度，需要多取样品数N。

Ø 软件
界面