我公司提供大面积多晶光学级金刚石窗口（100-150mm）解决方案：

步：生长

1. 衬底准备，包括：选材、衬底表面处理、晶种及相关工艺

2. 生长控制：采用CVD设备，将准备好的衬底放入样品台，在适当的工艺条件下生长（控制功率、气压、流量、衬底温度、生长时间）。

3. 生长完成：在获得设定的厚度后停止生长

可获得光学级（透过率＞68%@10.6μm）、大面积（直径100-150mm）、厚片（1.2-2mm）

第二步：抛光

采用专门的 抛光设备+特制 抛光液进行研磨、磨平、抛光。

可获得：1) 单晶表面粗糙度1nm，平整度0.2波长；2）多晶窗口表面粗糙度20-50nm，平整度0.2波长。

第三步：切割

采用专用激光切割机，可获得长方形、三角形、圆片等规则高精度形状光学元件。

第四步：镀膜

采用多种物理气相沉积手段，可以实现高品质增透膜。

可获得：1）透过率>90% (1064nm)；2）透过率>96%（10.6μm）

欢迎感兴趣 客户单位或个人联系我们！