关键词：磁控溅射、电子束蒸镀、超高真空、金属膜、氧化膜、约瑟夫森结、超导、量子器件、量子比特、

                多腔体、Qubit、UHV、铌基超导、氮化铌、钛氮化铌、NbTiN、NbN、sputtering system

                Evaporation system、Nb-based superconductor、超导铝结、Josephson junction

型号：MEB 550 SL     产地：欧洲    应用：沉积几乎任何金属及氧化物薄膜。

推荐配置：可以用于沉积几乎任何金属及氧化物薄膜，目前主要超导量子实验室均使用该设备制备超导结（量子比特和约瑟夫森结）和量子器件，可以制备大面积、高度稳定性和可重复性超导结。

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