提供金属膜/半导体膜/绝缘膜镀膜服务

多阴极磁控溅射镀膜仪 (confocal sputtering system)

多靶反应溅射镀膜系统（用于单层膜/多层膜制备 ）

直流磁控溅射镀膜系统

磁控溅射用于单层膜/多层膜/磁性膜制备

多靶共焦溅射镀膜设备（用于半导体膜、介电膜制备）