为防止三坐标测量机及其附属设备腐蚀，要避免环境空气在长时间内的平均相对湿度超过50%。
    常被忽略的是，人们的举止能以某一形式使测量设备及被测对象受潮，如：
    1）人们的呼吸具有很高的湿度（相对湿度），能引起水汽的凝结；
    2）对大部分工程材料，人们的指印有侵蚀作用。
    三坐标测量机的操作人员应该意识到这些影响。
    另一方面，湿度太低会造成静电荷的增长。静电荷能吸引尘粒，特别在以小的测量力探测绝缘物体和光学三坐标测量机上进行测量时会导致测量精度下降。空调空气过分干燥时会使操作人员感到不舒服，并引起呼吸道疾病。鉴于这些原因，湿度不应在一个长时间内低于30%。湿度变化还影响花岗岩变形。
    三坐标测量机生产厂家应在技术规范中给出对湿度的详细规定。