在探测力的作用下，尘粒、切屑、测球与被测表面上的原油或冷却液膜，能部分地被挤走，这取决于它们的数量、大小与分布。它们可能对三坐标测量机所测得的坐标值产生影响。因此，根据所要求的精度，需采取适当的清洁步骤，如采用防护柜或空调实验室对保持足够的洁净是很有效的。
    然而，在工业环境下几乎不可能*防止灰尘与悬浮粒对三坐标测量机的影响。由于尘土与污物是随时间积累的，因此对三坐标测量机的气浮轴承和滚动轴承、导轨等部件需要经常清理。
    三坐标测量机的制造厂应在他们的说明书上写明，根据环境条件应隔多长时间、用什么方法、由谁（用户还是服务部门）来清理三坐标测量机的部件。三坐标测量机的用户有责任遵守这些规程。

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