MITECH K950X 高真空蒸镀仪  ——应用于SEM，TEM及X-Ray  在厚度为2nm (20埃)或更厚时膜是连续的。zui通常的沉积形式是加热碳或石墨棒。棒具有特定的形状以达到zui大电流密度，使得它具有足够的温度来引起蒸发。基于这点，出现了细小的、亮的、热的碳颗粒。此系统需要用扩散泵或涡轮分子泵达到1x10-4 mbar或更高的真空度。   涡轮分子泵在K950X中作为标准配置，此泵作为机械真空泵的后级泵，真空为全自动控制，真空度优于1x10-5 mbar。可进行预热及除气控制，同时用瞬时蒸发开关使脉冲蒸发在用户控制下进行。   标准的旋转样品台可进行倾斜调节，非常容易适应各种样品座。可选的样品台具有特殊的凹槽，可放置标准的载玻片，这在“石棉分析”需要镀碳层时尤为有利。   碳棒头在仪器中作为标准件。这是一个“快速释放头”，使用户在选择金属蒸发附件、碳丝及光阑清洗头时可方便地更换。放气系统具有互锁装置，避免样品受到干扰。涡轮分子泵可安装在任何轴上，并且可安全地“关闭”直接通大气。  仪器特点                           仪器优点  ● 全自动抽气系统                         ● 容易操作  ● 旋转样品台                             ● 均匀的样品涂层  ● 菜单驱动式“用户”键盘输入             ● 方便多用户操作  ● 快速释放头方便选择不同的头             ● 可用于蒸碳及蒸镀金属  ● 约束的排气控制                         ● 在排气过程中可防止样品损坏  ● 涡轮分子泵抽真空                       ● 碳棒或碳丝蒸发  技术规格  仪器尺寸：450mm W x 350mm D x 175mm H (Overall height with Work Chamber 750mm) 重量：28Kg  工作腔室：硼硅酸盐玻璃165mm Dia x 125mm H  安全钟罩：聚碳酸酯  铝机座：110mm Dia x 115mm H  碳  源：直径3.2mm碳棒  旋转样品台：直径为60 mm，倾斜0-90o             到电极距离为110mm 到 130mm  真空计范围：ATM - 1x10-5 mbar  操作真空：1x10-2 to 1x10-5 mbar  安培计：0-50 Amps  低电压选择：0-5V-15V-25V  除气电流：0-25 Amps  涡轮分子泵：50L/Second   Services -Argon - Nominal 4psi. Rotary Backing Pump -Two Stage Vacuum Pump No. 2, 35L/Min   complete with Vacuum Hose & Oil Mist Filter. 2m3/Hr  电源：230V 50Hz (包括泵zui大电流8 安培)；115V 60Hz(包括泵zui大电流16 安培)