产品简介
扫描电声显微镜（SEAM)可用于金属和陶瓷材料的应力分析，半导体材料和电子元器件的位错和界面缺陷显示，信息功能材料的电畴、磁畴及其随外场变化的动态行为观察，多晶材料（薄膜、涂层）晶粒、晶界以及内部缺陷的检测。此系统有力地增强和扩展了普通扫描电镜的功能，可方便地装备在其它类型的扫描电镜上，是把电子显微术和声学显微术集成为一体的一种新型的显微成像方法，具有电子显微术高分辨率和声学显微术内部成像的特点。
详细介绍
1型扫描电声显微镜（SEAM)技术参数：
工作频率：20kHz - 1MHz
工作电压：小于等于50V
分辨率：横向小于等于0.3um，纵向小于等于0.16um 实时观察二次电子像和分层电声像
相关词: 电声显微镜;SEAM
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