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主要特征:
采用L型移动桥式,由两到三个高精度等高块稳固支撑Y向槽型导轨,左立柱与横梁、滑架、鞍座共同组成移动桥,提高了运动质心,减少了阿贝误差
u X轴和Z轴均采用超精加工及经过表面硬质阳极化处理的航空铝合金
Y轴采用一体化槽型精密花岗石导轨u
u Z轴采用的可调式气动平衡设计,采用柔性悬挂系统,避免了轴向运动和传动系统之间的干涉问题,提高了测量机的精度和*稳定性
u 各运动轴均采用直流伺服驱动+增强型同步带,确保运动的平稳和准确定位
三轴均采用预载荷空气轴承,运动更平稳,导轨*受磨损u
u 三轴均采用高精度欧洲进口光栅尺,系统分辨率可达0.078um;同时采用一端固定,一端自由伸缩的方式安装,减少了光栅尺的变形,保证在温度变化时的线性伸缩
u 采用海克斯康为Function Plus专业打造的IDC-II控制系统,21项误差空间修正技术和自动调谐功能,保证了大型机器的动态性能和测量精度
u 测量机三轴都配置温度传感器,实时监控温度变化,自动补偿由于温度变化而引起的误差
软件为业界的PC-DMIS BASIC (/PC-DMISu PREMIUM),功能强大,易学高效
规格型号与技术指标:
| | 800 | 1000 | |||
机器型号 | | F10128 | F121510 | F122010 | F122510 | F12310 |
行程(mm) | X | 1000 | 1200 | 1200 | 1200 | 1200 |
Y | 1200 | 1500 | 2000 | 2500 | 3000 | |
Z | 800 | 1000 | 1000 | 1000 | 1000 | |
测量空间(mm) | Dx | 1100 | 1300 | 1300 | 1300 | 1300 |
Dy | 1960 | 2340 | 2840 | 3340 | 3840 | |
Dz | 950 | 1150 | 1150 | 1150 | 1150 | |
Dx1 | 153 | 173 | 173 | 173 | 173 | |
Dy1 | 250 | 280 | 280 | 280 | 280 | |
花岗岩平台螺纹孔尺寸(mm) | M1 | 133 | 156 | 156 | 156 | 156 |
M2 | 105 | 120 | 120 | 120 | 120 | |
Mx | 250 | 300 | 300 | 300 | 300 | |
My | 250 | 300 | 300 | 300 | 300 | |
外形尺寸(mm) | L | 2370 | 2820 | 3320 | 3820 | 4320 |
W | 1694 | 1980 | 2100 | 2100 | 2100 | |
H | 3150 | 3460 | 3750 | 3750 | 3750 | |
承重(kg) | | 1200 | 2000 | 2000 | 2000 | 2000 |
机器重量(kg) | | 4000 | 5300 | 8500 | 10500 | 12500 |
MPEe(μm) | | 4.0+L/300 | 5.0*L/300 | 5.0*L/300 | 7.0*L/300 | 7.0*L/300 |
MPEp(μm) | | 4.5 | 5.5 | 5.5 | 5.5 | 5.5 |
光栅尺分辨率(μm) | | 0.4 | 0.4 | 0.4 | 0.4 | 0.4 |
空间移动速度(mm/s) | | 200 | 200 | 200 | 200 | 200 |
空间移动加速度(mm/ s2) | | 450 | 450 | 450 | 450 | 450 |
流量/供气压力 | | 150 NI/min,0.45Mpa | 150 NI/min,0.45Mpa | 150 NI/min,0.45Mpa | 150 NI/min,0.45Mpa | 150 NI/min,0.45Mpa |
注:工作环境为温度(20±2)℃, 湿度为45%-75%