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简介

Suragus面阻测试仪来自德国，其通过涡流的原理测量材料面阻值，该技术是一种非接触式面阻测试技术且测试准确稳定，对于无损检测、在线面阻监测具有重要意义。

规格参数

测量模式：非接触式实时测量

衬底：foils, glass, wafer等

检测间距：1 / 5 / 10 / 15 / 25 / 50 mm (可定制其他)

传感器数目：1 – 99

面阻范围： 0.0001~1000 Ohm/sq

薄膜厚度：2nm – 2mm（依据面阻而定）

工作环境：真空 /  非真空  

工作温度：< 60°C/ 140°F (< 90°C/ 194°F 需定制）

采样率：1 / 10 /50 /100 /1,000 data/s

配套设备（选配）：硬件触发 / 条形码阅读器

选配功能：导电膜厚度/ 光透射率 /密度 /各向异性

功能图解

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