SR300 薄膜分析仪-北京燕京电子有限公司手机版

详细介绍

　　SR系列薄膜分析产品来自美国AST公司，其可以实现薄膜厚度、反射率、透射率、色度等的测量，同样对于材料NK参数也可以实现测量，为人们针对薄膜进行分析提供了便利。

　　产品详情：

基本功能

1，测试单、多层透光薄膜的厚度、折射率以及吸收系数
2，实现薄膜均匀性检测
3，实现反射、投射以及颜色测量

产品特点

强大的数据运算处理功能及材料NK数据库；
简便、易行的可视化测试界面，可根据用户需求设置不同的参数；
快捷、准确、稳定的参数测试；
支持多功能配件集成以及定制；
支持不同水平的用户控制模式；
支持多功能模拟计算等等。

系统配置

型号：SR300
探测器： 2048像素的CCD线阵列
光源：高稳定性、长寿命的卤素灯
光传送方式：光纤
台架平台：特殊处理铝合金，能够很容易的调节样品重量，200mmx200mm的大小
软件： TFProbe 2.2版本的软件

通讯接口：USB的通讯接口与计算机相连
测量类型：薄膜厚度，反射光谱，折射率
电脑硬件要求：P3以上、50 MB以上的空间
电源：110–240V AC/50-60Hz，1.5A
保修：一年的整机及零备件保修

波长范围：400nm到1100 nm 光斑尺寸：500μm至5mm 样品尺寸：200mmx200mm或直径为200mm 基板尺寸：zui多可至50毫米厚测量厚度范围：2nm～50μm 测量时间：zui快2毫秒精度：优于0.5％（通过使用相同的光学常数，让椭偏仪的结果与热氧化物样品相比较）重复性误差*：小于1 Ǻ
可选配件项	用于传递和吸收测量的传动夹具（SR300RT) ) zui低可测量直径为5μm大小的微光斑(MSP300) 在多个位置下，多个通道用于同时测量 (SR300xX) 在超过200或300毫米晶片上所进行的统一测绘（SRM300-200/300）

　　主要应用于透光薄膜分析类领域：

　　1 玻璃镀膜领域(LowE、太阳能…)

　　2 半导体制造(PR，Oxide, Nitride…)

　　3 液晶显示(ITO，PR，Cell gap...)

　　4 医学，生物薄膜及材料领域等

　　5 油墨，矿物学，颜料，调色剂等

　　6 医药，中间设备

　　7 光学涂层，TiO2, SiO2, Ta2O5... ..

　　8 半导体化合物

　　9 在MEMS/MOEMS系统上的功能性薄膜

　　l0 非晶体，nm材料和结晶硅