简介：
XAD一六测厚仪是一款上照式全元素光谱分析仪，可测量纳米级厚度、微小样品和凹槽异形件的膜厚，也可满足微区RoHS检测及多元素成分分析，先进的算法及解谱技术解决了诸多业界难题。被广泛用于各类产品的质量管控、来料检验和对生产工艺控制的测量使用。
技术参数：
1. 成分分析范围：铝(Al)- 铀(U)
2. 成分*检出限：1ppm
3. 涂镀层分析范围：锂(Li)- 铀(U)
4. 涂镀层*检出限：0.005μm
5. 最小测量直径□0.1*0.3mm(最小测量面积0.03mm²)
标配：最小测量直径0.3mm(最小测量面积0.07mm²)
6. 对焦距离：0-30mm
7. 样品腔尺寸：530mm*570mm*150mm
8. 仪器尺寸：550mm*760mm*635mm
9. 仪器重量：100KG
10. XY轴工作台移动范围：100mm*150mm
11. XY轴工作台最大承重：15KG
选择一六测厚仪的四大理由：
1.一机多用，无损检测(涂镀层检测-环保RoHS-成分分析)
2.最小测量面积0.002mm²
3.可检测凹槽0-90mm的异形件
4.轻元素，重复镀层，同种元素不同层亦可检测
