测试技术：探针轮廓技术
测试功能：二维表面轮廓测试
样品视场：640*480像素，USB；17 inc 平板显示器
探针传感器：低惯量传感器（LIS 3）
探针压力：使用LIS 3传感器：1至15 mg
使用N-lite传感器：0.03至15 mg
探针选项：探针曲率半径可选范围：50 nm至25 um;
高径比针尖：10 um * 2 um 和200 um*20 um
样品载物台：手动X/Y/@：100*100 mm, 360度旋转，可手动校平；
可选Y自动移动载物台，100 mm行程，1um重现性，0.5 um分辨率；
可选X-Y自动移动载物台，150 mm行程；
1um重现率，0.5 um 分辨率
计算机系统：主机使用celeron或者semprom处理器
软件：Dektak软件
台阶检测软件
可选应力测量软件
可选三维Vision分析软件
可选缝合软件
减震装置：可选桌式震动隔离装置
可选台式震动隔离装置
性能
扫描长度范围 55mm（2.1英寸）
每次扫描数据点zui多12万数据点
zui大样品厚度高达90 mm （4英寸），取决于配置
zui大晶圆尺寸 150 mm（6英寸）
台阶高度重现性 6埃
垂直范围：标准524um（0.02英寸）；可选1mm
垂直分辨率：zui大1A（6.55um垂直范围下）
尺寸：292 mm *508 mm*527 mm
重量：34 kg
电源要求：
输入电压： 100-120VAC/200-240VAC, 50-60 HZ
